7、激光扫描振镜新技术探索
一套基本的x-y扫描装置看起来很简单：两块反射镜，由电机驱动，可将入射激光束反射到特定区域（工作区域）的任何点。一组平场（f- ）透镜确保焦点在工作区域平面内（二轴系统，如图1），对基本的Nd:YAG激光器来说，典型的工作范围为40×40平方毫米（ff- =100 毫米）至180×180 平方毫米（ff- =254 毫米；对于高级谐波激光器和二极管激光器，其工作范围为40×40 平方毫米（ff- =100 毫米）至120×120平方毫米（ff- =163 毫米)，具体取决于平场透镜的焦距。显然，所需工作范围越大，工作距离越长。如果在扫描振镜前端的激光光路中，使用聚焦透镜和可移动透镜的组合来代替平场透镜，工作范围和工作距离还会进一步增加（三轴系统，如图2）。该装置可使工作范围达到1200×1200平方毫米，工作距离达到1500毫米。
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