精密切割, 薄片划线与切割
激光技术对多年以来传统的薄片加工方法形成了一种挑战。它的主要的好处是加工速度更快,切口宽度更小,具有对不同材料和厚度的薄片进行加工的能力。
JK光纤激光器提供了一系列的高功率单模IR激光器。这些激光器能切割薄硅片,并且速度快,裂缝小和热响应区小,符合客户要求。
JK100脉冲激光器提供长脉冲多模激光,具有独特脉冲形式,用于限制在切割硅片时等离子的影响,切割时几乎没有碎屑和裂缝。可用于切割硅片厚度达2mm,切缝宽度大约110微米。对于厚硅片(1.0-1.5mm)加工速度可达到300-400mm/min,对于薄硅片(0.25mm)加工速度可达到2500mm/min。
图2 精密切割, 薄片划线与切割