——紫外全固态激光源是指输出波长在200纳米以下的固体激光器,与同步辐射和气体放电光源等现有光源相比,具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。长期以来,深紫外波段(波长小于200纳米)一直缺乏实用化、精密化激光源,制约了深紫外波段科学仪器和前沿研究的发展。
我国科学家自上世纪90年代初开始研究深紫外非线性光学晶体和激光技术,经过20多年努力,日前在国际上首次生长出可直接倍频产生深紫外激光非线性光学晶体,并发明棱镜耦合技术,率先发展出实用化的深紫外固态激光源,使中国成为当今世界上唯一掌握深紫外全固态激光技术的国家。
此后,我国科学家再接再厉,利用独创、独有的深紫外技术和深紫外激光非线性光学晶体,已成功研制出深紫外激光拉曼光谱仪、深紫外激光发射电子显微镜8台深紫外固态激光源前沿装备,均为当今世界独有的科研利器,居深紫外领域国际领先地位,在物理、化学、材料、信息、生命、资环、地质等学科领域均有重大的应用价值。
深紫外激光源对于现代科技发展非常重要,例如,193纳米光刻技术所需光源,纳米微加工技术,原子、离子的激光冷却技术,以及各种现代化仪器所需的深紫外激光源等。
一、中国深紫外激光装备世界独有:科技前沿中国发声
2012年诺贝尔奖发布时,中科院院士郭光灿曾表示,缺乏原创,是中国科学家与诺贝尔奖的距离。实际上,这也是中国与世界科学发展的距离。
“原始创新能力显著提高,但重大原创成果和开创性工作还比较少;关键技术创新和系统集成能力大幅提升,但对产业发展有重大影响的关键核心技术和解决方案还不够多。”郭光灿说。
中国科学家研发首创深紫外全固态激光源,8台深紫外激光装备均为当今世界所独有的科研利器,
居深紫外领域国际领先地位
中科院各研究所所长在2013年的新年规划中,都进一步明确了以重大成果产出为导向,开展原始创新、关键核心技术创新和系统集成创新的战略使命。
中科院微电子所所长叶甜春说,从中国科学院的角度看,在国家层面要发挥战略作用的话,意味着研究所的成果应该代表国家水平。
在刚刚结束的两会上,中央和社会各界对科技支撑经济转型和社会发展期望很高,产业界希望借助科技的力量尽快调整结构并实现利益最大化,农民也期待有更好的农业成果带领他们脱贫致富、奔向小康。
“我们目前的创新能力,以及知识创新工程实施十几年的积累,和这些期待仍有距离。”中科院西安分院院长周杰说。
立足创新前沿
张涛认为,经过改革开放30多年的发展,“中国科技界应该在世界前沿领域真正提出些原创性的想法或发现”。
2011年,理化所牵头的“深紫外固态激光源前沿装备研制项目”获得突破,深紫外激光拉曼光谱仪、深紫外激光发射电子显微镜等8台深紫外固态激光源前沿装备,均为世界独有的科研利器。
2012年,8台装备中有两台获批科技部产业化项目,为前沿装备产业化工作作了铺垫。
同样在2012年,微电子研究所集成电路先导工艺研发中心在22纳米CMOS关键技术先导研发上取得突破性进展。
22纳米CMOS技术是全球正在研究开发的最新一代集成电路制造工艺,各国都投入了巨大资金,力争抢占技术制高点。有国际评论认为,像中国这样的大国,迟早要做这样的技术。
中国“神光”高能激光装备,也是世界先进的激光聚变实试验平台