自20 世纪激光问世不久,激光加工技术就受到人们的重视,经过40 多年的发展,至今已成为先进制造技术的重要组成部分。基于激光束具有单色性好、能量密度高、空间控制性和时间控制性良好等一系列优点,目前它已广泛应用于材料加工等领域。其中紫外激光的波长短、能量集中、分辨率高,因此在去除焊料外壳、在电子线路板上钻微孔、在薄膜或薄片材料中制作微通道、进行精密切割和对接等微加工领域具有广泛的应用。红外或可见光通常靠产生集中局部的加热使物质熔化或气化的方式来进行加工,但这种加热会导致周围区域严重破坏,因而限制了边缘强度和产生小精细特征的能力,而紫外激光是通过直接破坏连接物质原子组分的化学键,这种将物质分离成原子的过程是一个“冷”过程,不产生对外围加热。该特性使紫外激光器成为加工薄橡胶和塑料制品类脆弱物质的理想工具,不仅如此,大多数材料都能有效吸收紫外光,从而可被用来加工红外光和可见光激光器加工不了的材料。
紫外激光器在激光加工方面有三个优势:一是紫外激光器的波长较短能加工很小的部件;二是紫外激光器进行激光加工时直接破坏材料的化学键,是“冷”处理过程,具有很小的热影响区;三是大多数材料能有效地吸收紫外光,可以加工许多红外和可见光激光器加工不了的材料,而且紫外激光器尤其是固体紫外激光器的结构越来越紧凑、平均功率高、易维护、操作简便、成本低、生产率高。因此它在生物工程、材料制备、全光光学器件制作、集成电路板及半导体工业等激光加工领域获得了广泛的应用。
近年来,紫外激光器的应用是工业激光市场增长最快的一部分,紫外激光器尤其是准分子激光器和固体紫外激光器成为一个新的研究热点。以大族激光为例,随着智能手机、平板电脑等高端消费电子产品制造技术的创新发展,激光微加工优势逐渐体现。通过与高端客户合作开发,全面切入客户所有产品线并形成规模销售,大族激光小功率激光设备及产品销售大幅增长。2012年,激光信息标记设备销售收入12.163亿元,较上年同期增长88.01%。其中紫外激光设备同比增长310%,实现年度销量世界第一的成绩(摘自大族激光2012年年度报告);而光纤激光设备同比增长131%。为此,OFweek激光网将简要介绍IPG Photonics和华工科技在紫外激光器领域的进展及各自的产品。