三菱电机近日宣布其获得了一项玻璃微加工专利，利用脉冲CO2激光器在玻璃衬底上获得了直径为25微米的小孔，这一数值为世界上最小。该技术将用于玻璃电路基板以提升电子器件的性能。
10微米波长远红外CO2激光器被用于透明玻璃钻孔，三菱电机公司表示，短微秒激光脉冲能够减少玻璃基板钻孔时的热量。表面处理技术能够减小钻孔直径扩大。
通过高精度、高速电流镜片扫描激光束能够获得每秒超过200个小孔的加工速度。CO2激光器相对于传统激光器已经在工业领域获得广泛应用。(Alex翻译校对）
激光微加工
三菱电机获得世界上最小直径激光钻孔专利
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