4、死程误差
死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。
当测量时系统定标为L1，若干涉镜及反射镜之间没有动作，且激光束四周的环境状况有所改变，整个路径(LI+L2)的波长（空气中）都会改变，但激光测量系统只会对L2距离进行补偿。 因此，死程测量误差会由于光束路径L1没有获得补偿而产生。
处理方法：在设定定标位置时，固定反射镜和移动镜组应尽量彼此邻接，以此减小死程误差。
5、 镜组的安装细节
■ 将镜组固定牢靠
为了最小化振动作用并加强测量稳定性，镜组应牢靠固定到所需的测量点上；磁力表座应直接吸住机床底座，避免吸装在机床护罩或机床盖等较薄弱的部分；确保吸装的表面平坦且没有杂质。
6、 正确使用精度
上图是中国计量科学研究院检测SJ6000激光干涉仪线性位移的数据，这表明SJ6000激光干涉仪在正确的安装手段、正确的环境补偿、稳定的测量环境下即使70米距离都能满足0.1Lum（L测量长度，单位：m）精度，远远超出设备的线性标称精度0.5Lum（L测量长度，单位：m）。
