由OFweek激光网承办的“OFweek2020（第十七届）先进激光技术应用峰会”于9月14日在上海西郊庄园丽笙大酒店圆满落幕，同期举行的还有“中国激光行业年度评选颁奖典礼”。今年评选共设立9大奖项，本着“公平、公正、公开”的原则，主办方投入了大量的时间和精力，经过数月的紧张评选，最终评选出47个奖项。
其中，大族激光科技产业集团股份有限公司凭借LED全自动激光剥离设备成功夺得“维科杯·OFweek2020年度激光行业精密激光设备技术创新奖”。
大族激光科技产业集团股份有限公司夺得“精密激光设备技术创新奖”
大族激光产品图片
据了解，大族激光自2016年来致力于激光剥离（Laser Lift Off，LLO）技术，针对GaN基micro－LED和垂直结构LED晶圆蓝宝石衬底的剥离，2018年成功研发并推出全自动LLO激光剥离设备。大族LLO设备推出打破国外设备垄断填补国内此类设备的空白。随着Micro LED行业的兴起，此款设备的重要性愈发明显。
激光剥离技术是使用光子能量介于蓝宝石带隙和GaN带隙之间的266nm高能脉冲激光束，对蓝宝石衬底与外延生长的GaN材料的交界面进行均匀扫描，将GaN分解形成液态Ga和氮气，从而几乎可以在不使用外力的情况下实现蓝宝石衬底的分离。本设备采用DPSS激光器，针对晶圆剥离专门设计一套外光路，可以实现高效高品质的剥离效果。
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