无掩膜激光直写光刻机采购公开招标公告

项目概况

东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购 招标项目的潜在投标人应在南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层获取招标文件,并于2021年11月05日 14点30分(北京时间)前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号:JSHC-2021090615C6

项目名称:东南大学微纳系统国际创新中心无掩膜激光直写光刻机采购

预算金额:504.0000000 万元(人民币)

采购需求:

东南大学微纳系统国际创新中心采购无掩膜激光直写光刻机一台(套),主要技术要求如下:

1.设备组成:1、温控防尘罩;2、高精密透镜模块及DMD模块;3、半导体激光器(Diode Laser);4、工作平台装置;5、定位激光干涉仪;6、主机电器控制装置;7、图形转换软件及系统操作计算机;8、大理石或花岗岩机座及气浮减震装置。

2.须具备两种不同波长的光源;曝光用光源及波长:(1) 405nm Diode Laser;(2) 375nm UV Diode Laser。

3.直写速度:在100×100mm的刻写幅面下,须达到≤35 min;可进行128阶灰度曝光;配置高深宽比模块,透过调整聚焦深度,以优化膜厚较厚的光刻胶侧壁粗造度;配置单元图形对准功能,对晶圆上的各个单元图形进行逐一对准,并对每个单元图形进行逐一曝光。

最大直写面积≥ 200mm x 200mm;配置背向对准功能,背向对准精度≤1000nm。

合同履行期限:详见采购文件

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求:

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定;

2.落实政府采购政策需满足的资格要求:

非专门面向中小企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。

3.本项目的特定资格要求:无

三、获取招标文件

时间:2021年10月14日  至 2021年10月20日,每天上午9:00至11:30,下午13:30至17:00。(北京时间,法定节假日除外)

地点:南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层

方式:获取采购文件须提供的资料:加盖公章的授权委托书原件或扫描件、加盖公章的被委托人身份证复印件或扫描件,及汇款凭据的截图。

售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间:2021年11月05日 14点30分(北京时间)

开标时间:2021年11月05日 14点30分(北京时间)

地点:南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层开标大厅

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

凡参加投标的相关人员,应在投标截止时间前完成以下程序:

(1)所有人员必须提供苏康码的绿色健康码才能进入会场;

(2)进入开标大厅时必须佩戴口罩,不得随意走动。

七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:东南大学

地址:南京市四牌楼2号

2.采购代理机构信息

名 称:江苏省华采招标有限公司

地 址:南京市建邺区新城科技园嘉陵江东街8号综合体B3栋16层

3.项目联系方式

项目联系人:陶工/张工



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