“维科杯·OFweek2022激光行业年度评选”由高科技行业门户OFweek维科网主办,OFweek维科网·激光承办,活动旨在表彰激光行业具有突出贡献的优秀产品、技术及企业、人物,鼓励更多企业投入技术创新,同时为行业输送更多创新产品、前沿技术;以提高生产力、经济效益;给用户提供更大便利;引导行业良性快速发展。
本次评选活动2022年8月10日-8月20日为网络投票阶段,并将于9月27日在中国·深圳举行盛大的颁奖典礼。
目前,活动正处于火热的报名申报阶段,业内企业均积极响应。目前,英诺激光科技股份有限公司已经正式参评“维科杯·OFweek2022年度激光行业固体/超快激光器技术创新奖”。
参选产品名称: AMT-266-3W-70MHZ 皮秒激光器
产品推出年份/开发背景:2021 年推出 AMT-266-3W-70MHZ 皮秒激光器。晶圆缺陷检测是发展芯片技术至关重要的一环,当前国产芯片节点正向 28 nm 以下推进,相应的芯片晶圆缺陷检测需在空间分辨、灵敏度和效率等方面加以提升。发展高重频、高功率深紫外激光是提升亚 28nm 芯片晶圆缺陷检测水平的重要发展方向。高重频高功率深紫外超快激光器是晶圆缺陷检测装备的核心部件,长期被国外垄断,并且面临被卡脖子风险。
产品扼要说明:
1. 高端应用:AMT-266 皮秒激光器可输出深紫外波长 266nm,主要应用于 28nm 及以下节点制程的芯片缺陷检测,助力半导体检测装备国产化,也可应用于大口径光学元件表面形貌检测、高分子材料切割和高密度信息存储等领域。
2. AMT-266 皮秒激光器基于长寿命高重频超快锁模技术开发平台,实现高功率深紫外稳定输出,长期稳定可靠,单点寿命大于 1000hrs,整机寿命大于 20000hrs,满足半导体工业的应用标准。
3. 关键指标达到国际一流水平:通过行业领先的倍频技术,光束质量 M 平方因子<1.2,可靠的功率稳定性<3 %,卓越的光斑圆度(>90%),可实现优异的激光加工质量。
4. AMT-266 皮秒激光器采用水冷冷却方式,腔体机构坚固,整机防应力设计充分,是性能和稳定性的完美结合,适合各种高挑战性应用场景。
其设计应用或创新的关键点:
1. AMT-266-3W-70MHZ 可输出深紫外波长 266nm,功率高达 3W。高功率、高重频、深紫外输出,提高了检测应用的空间分辨率、灵敏度和效率,符合 28nm 及以下节点芯片制程的晶圆缺陷检测需求。
2. AMT-266 皮秒激光器拥有全新设计的光学系统,使得关键指标光束质量达到国际一流水平:M 平方因子<1.2 和卓越的光斑圆度(>90%)
3. AMT-266 皮秒激光器激光器有四倍频换点功能,先进的换点技术能保证换点后光束质量、光斑大小 、光束指向性不变,延长晶体使用寿命,提高机器稳定性。
4. AMT-266 皮秒激光器拥有自研高性能高可靠性的核心模块,如超快种子源、非线性晶体的高温加热炉等,保证了整机系统的长期可靠性,实现单点寿命大于 1000hrs,整机寿命大于 2000hrs。超快种子源为高重频、全光纤结构、窄线宽、稳定可靠、长寿命的锁模种子源;非线性晶体的高温加热炉为高灵敏度、自动补偿反馈系统、稳定可靠的高温加热装置。
5. AMT-266 皮秒激光器由空气洁净系统,可以对腔内进行清洁,延长晶体使用寿命,空气洁净系统维护、更换方便。
参选述说/理由: AMT-266-3W -70MHz 是英诺激光科技股份有限公司于 2021 年推出的高重频高功率深紫外皮秒超快激光器,性能指标达到国际领先水平,长期稳定可靠,是成熟的工业级产品;主要应用于28nm 及以下节点的晶圆缺陷检测,是芯片制程中晶圆缺陷检测装备的核心部件,率先打破国外在深紫外激光领域的垄断,实现国产替代,解决“卡脖子”问题,在撬动芯片检测这一超百亿规模市场的同时,推动我国半导体和集成电路产业的升级,助力提升国家高端制造能力。
本届“维科杯·OFweek2022激光行业年度评选”活动于8月10日开始进入火热的“网络投票及专家评选”阶段,这一阶段用户可登录活动官方网站,对入围参赛企业、产品进行投票;评委团将对入围名单进行多次讨论,并参考网络投票意见,审定最终获奖名单。
还犹豫什么,赶紧去参加吧!8月10日起,为心仪的企业及产品投票吧!