电光斩波和固体放大器。采用电光开关将脉冲斩波成脉冲串，宏脉冲宽度可调。脉冲串经过固体放大器进一步放大能量，并且要求保证1％以内的功率和能量波动。
非线性二倍频和四倍频。放大后的皮秒脉冲串，经过LBO晶体二倍频为532nm，再经过BBO晶体四倍频为266nm深紫外光，基频到四倍频效率优于10％。四倍频后的输出光经过光斑扩束整形后输出，导入光阴极腔，聚焦于光阴极材料。
为了实现稳定的脉冲输出，光至科技基于自身在MOPA脉冲激光器上积累的电控技术积累，专门定制开发了高稳定性的电控系统，包括基于FPGA的高速总控，低噪声泵浦恒流驱动，高精度晶体温控和高带宽锁频闭环电子学。
经过长达1年的研制和调试工作，最终交付的深紫外光源达到了良好的光学指标，如下图所示，顺利完成了试验工作。
（a）皮秒脉冲自相关测量曲线
（b）锁频后相位噪声谱
（c）266nm激光的光束质量
