近日，韩国知名半导体和显示设备制造商DIT官宣公司已签署了一份价值205．2亿韩元的协议，将为SK Hynix（SK海力士）供应晶圆加工设备。据DIT方面声称，此次为SK海力士供应的设备主要是激光退火套件。
DIT成立于2005年，于2018年在KOSDAQ上市，其主要专注于AI解决方案、AOI解决方案、激光解决方案以及红外领域。
2018年，DIT成为SK海力士第一合作伙伴。事实上，早在2019年DIT便于与SK海力士合作开发激光退火技术。为此，韩国知名激光企业EO Technics还对DIT提起专利侵权诉讼，声称DIT与SK海力士开发的技术侵犯了其专利技术。然而截至目前为止，这场专利纠纷案尚无定论。
经过四年的开发，在2023年，DIT便与SK海力士签订了合同，并于2023年下半年开始向SK海力士供应少量的激光退火设备，用于HBM的前端工艺。通过对晶圆进行激光退火，改善表面缺陷，提高产线的良率。将离子掺杂剂注入晶圆以使其导电，但有时此过程会导致掺杂剂和硅无法合成。
使用激光照射发生这种情况的区域以纠正问题。激光退火不太容易出现快速热退火那样的故障，而快速热退火会使晶圆弯曲。由于未来的HBM有望应用混合键合，因此，预计对激光退火套件的需求将会增加。
近年来，DIT的激光设备在其收入中所占的比例越来越大。2022年，该业务占其总收入的5．88％，但第二年这一比例上升至15．06％，2024年仅在第三季度就占了 59．46％。据悉，DIT2024年第三季度的收入为165亿韩元，营业利润为32亿韩元。
