由高科技行业门户OFweek维科网主办、OFweek维科网·激光承办的“维科杯·OFweek2022激光行业年度评选”于11月14日在中国·深圳举办。今年评选共设立9大奖项,本着“公平、公正、公开”的原则,主办方投入了大量的时间和精力,经过数月的紧张评选,最终评选出47个奖项。
深圳市大族半导体装备科技有限公司凭借其Micro LED激光巨量转移设备,一举斩获“维科杯·OFweek2022年度激光行业精密激光设备/仪器创新奖”
大族半导体产品图
采用激光整形技术将光斑整形成特定大小的方形光斑,结合高精度的对位和调平系统,可实现高速、高效将芯片转移到下层基板上,转移效果良好、精度高,转移过程对芯片无损伤;再通过激光定点去除,定点转移及焊接完成修复动作。
设备精度主要满足:最终加工时载体与基板最小间距50μm;最终加工时对应精度<±10μm
● 精准的视觉对位系统,高精度的上下基板调平系统,保证加工的精度和稳定性;
● 可以精准的选择性加工,实现加工幅面内任意位置芯片的去除和转移,可对Micro LED制程中多处基板进行修复;
● 加工过程对芯片无损伤;
● 加工效率高,修复效率可达2KK/H,转移效率可达2KK/H—100KK/H;
● 加工良率高、精度高,位置精度可达±1.5μm。